삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체했다. 지난 7월 일본 정부가 한국에 대해 불화수소를 비롯한 반도체 및 디스플레이 핵심소재 3종의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만에 처음이다.
3일 업계에 따르면 삼성전자는 최근 일부 공정에 일본산 대신 국내 업체가 생산한 불화수소를 투입했다. 민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해 국산품으로 대체하는 과정이다.
삼성전자의 반도체 공정에 국산 불화수소가 일본산을 대체한 것은 지난 7월 일본 정부가 한국에 대해 불화수소를 비롯한 반도체 및 디스플레이 핵심소재 3종의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만이다. 당초 국산화 테스트에는 최소 3개월에서 최장 6개월의 시간이 걸릴 것으로 예상돼 왔다.
불화수소는 반도체 칩 제조과정에서 실리콘 웨이퍼 위에 쌓인 산화막을 제거하는 역할을 한다. 순도가 높을 수록 산화막을 깨끗이 제거할 수 있고, 불량을 막을 수 있는 핵심소재다. 주로 모리타, 스텔라 등 일본 회사들이 세계 시장점유율 70% 이상을 차지하면서 주도권을 쥐고 있다. 특히 고순소 불화수소의 경우 국내 반도체 제조사들은 95% 이상을 일본산에 의존해왔다.
국내외 불화수소를 테스트 중인 SK하이닉스는 아직 대체품을 양산에 투입하지는 않고 있는 것으로 알려졌다. LG디스플레이는 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했으며 삼성디스플레이도 조만간 테스트를 완료할 것으로 보인다.
한편 일본 정부는 지난달 29일 한국에 대한 수출규제를 강화한 이후 처음으로 반도체 소재인 불화수소(에칭가스)의 수출을 허가했다. 다만 한국에 대한 수출규제를 완화할지에 대해서는 확인되지 않고 있다.
류종은 기자 rje312@hankookilbo.com
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