하이닉스 반도체 식각공정에 적용
SK하이닉스가 투자한 산업용 인공지능(AI) 기업 가우스랩스가 AI 기반의 반도체 공정 검증 설루션 'Panoptes VM' 2.0 버전을 출시했다. SK하이닉스 제공
SK하이닉스의 산업용 인공지능(AI) 전문 자회사인 가우스랩스가 AI 기반 가상 계측 설루션 '파놉테스 VM'(Panoptes Virtual Metrology)의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.
장비에 설치된 센서로 수집한 데이터를 활용해 반도체 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 설루션이다. 물리적 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 줄일 수 있다고 회사는 설명했다.
2020년 8월 출범한 가우스랩스는 2022년 11월 파놉테스 VM 1.0을 내놓았다. SK하이닉스는 같은 해 12월부터 양산 팹(fab·반도체 생산공장)에 이 설루션을 도입, 박막 증착 공정(웨이퍼 위에 얇은 피막을 입히는 공정)에 적용했다. 파놉테스 VM으로 가상 계측한 결과값을 APC(장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 설루션)와 연동해 공정 산포(한 공정에서 생산된 제품의 품질 변동 크기)를 약 29% 개선했고, 수율도 올렸다.
SK하이닉스는 성능이 개선된 2.0 버전을 식각 공정(웨이퍼에 반도체 회로 패턴을 만드는 과정)까지 확대 적용하기로 했다. 김영한 가우스랩스 대표는 "4년 동안의 노력들이 가장 정밀한 제조 산업이라 불리는 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있는 만큼, 여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척해 나가겠다"고 말했다.
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