[2024 우수특허대상] 금강쿼츠
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금강쿼츠(대표 김창길)는 1978년 설립 이래 특수램프 및 반도체 전 공정에서 사용되는 고품질의 쿼츠 부품과 Si, SiC 등을 생산해 전 세계 반도체 제조회사와 반도체 장비회사에 공급하고 있는 반도체용 복합소재 부품 전문기업이다.
금강쿼츠가 개발한 쿼츠 샌드위치 구조물은 SiO2 차폐 유닛을 입체적으로 적층해 결합 조직의 구성 및 결합 방향의 정량적인 설계로 비교적 얇은 두께로도 효과적으로 열적 특성 및 다양한 형상을 구현할 수 있다. 기존 제품보다 IR 반사율은 약 25% 높고, 두께를 약 30% 얇게 구현할 수 있다. 이는 쿼츠 부품의 슬림화 및 복잡한 형상의 일체형 쿼츠 부품 구현이 가능해, 반도체 장비 내부 공간의 최적화로 공정 수율 향상 및 공정 개선 효과를 기대할 수 있다.
아울러 단열의 핵심 소재인 불투명 쿼츠를 자체적으로 구현해 납기 단축 및 고가의 불투명 쿼츠의 수입 대체 효과가 있을 것으로 예상된다.
빠르게 변화하는 반도체 패러다임에 효과적으로 대응하기 위해 신제품 개발에 금강쿼츠 전 임직원은 끊임없는 기술 혁신으로 반도체 산업 발전에 이바지하고자 한다. 쿼츠 산업의 비전을 선도하는 기업, 세계 반도체용 쿼츠 제품의 미래, 기술과 꿈이 실현되는 사회, 그것이 금강쿼츠의 미래다.
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