수입 의존 액상입자계수기 국산대체 성공

[2023 우수특허대상] 코리아스펙트랄프로덕츠

2003년 설립된 코리아스펙트랄프로덕츠(대표 이창석)는 반도체 디스플레이 분야의 세계적 기업들에게 고성능 분광 센서 등을 납품하고 있는 광 측정 및 진단 전문 기업이자 기술주도형 이노비즈 기업이다.

반도체 CMP 공정 및 환경, 바이오 분야 등에서 핵심 측정기로 활용되고 있는 액상입자계수기(LPC)는 액상 내 미세입자의 정확한 크기 분포와 농도를 측정할 수 있는 혁신제품이다.

현재 국내에서 LPC 장비는 전량 수입에 의존하고 있는데, 코리아스텍트랄프로덕츠는 정부출연사업 수행을 통해 핵심기술의 국산화 및 특허 확보와 함께 제품 상용화를 완료해 수입 대체 및 유지보수 비용 절감, 고객과의 기술협력의 발판을 마련했다.

향후 반도체 CMP 공정에서의 거대입자 측정뿐만 아니라 반도체 제조공정에 사용되는 다양한 화학첨가물에 대한 품질 관리 및 제약, 식품 등 전방위 산업군으로 활용범위를 확대해 세계 시장을 개척할 계획이다.