진공챔버 상부도어 개폐장치 국제특허 출원

[2023 우수특허대상] 에스제이오토메이션

국내외 평판디스플레이 양산라인의 전공정과 후공정 구동모듈 선정, 설계를 위한 부품 개발, 해외 협업을 통한 설계 기반의 프로젝트를 진행하고 있는 에스제이오토메이션(대표 이상수)은 최근 반도체 상부 도어와 평판 디스플레이 상부 도어의 진공챔버 상부도어 개폐장치를 개발하였다.

기존 장비와 상관없이 독립적인 작동이 가능한 제품의 국산화뿐만 아니라, 공정인력 비용을 50% 이상 절감하고, 진공과 대기를 오갈 때 또한 인력 없이도 가능한 제품의 필요성으로 개발됐다.

당사 발명의 가장 큰 특징은 복잡한 도어 개폐를 위한 구동모듈의 선정과 설계에 대해 챔버와 리드만으로 중량에 상관없이 구성할 수 있게 만들어졌다는 것이다.

반도체, 평판디스플레이의 다양한 진공챔버뿐 아니라 대형 수소탱크 및 우주산업에서 고압 또는 진공과 대기를 오가는 현장에서 사용 가능할 것이다. 현재 국제특허(PCT) 출원 중이다.