이재용 삼성전자 부회장이 삼성전자의 반도체부문 자회사인 세메스(SEMES) 천안사업장을 방문, 반도체 및 디스플레이 제조장비 생산 공장을 살펴보고 있다. 삼성전자 제공
글로벌 파운드리(반도체 위탁생산) 시장을 놓고 다투고 있는 삼성전자와 대만 TSMC가 이번엔 장비 쟁탈전에 들어갔다. 파운드리 경쟁의 열쇠인 ‘극자외선(EUV) 노광기’ 공급을 받기 위한 경쟁이다.
이 장비는 5나노 기반 반도체 양산에 필수인데, 독점 생산하는 네덜란드의 ASML에서 매년 50여대가 만들어지는 것이 전부다. EUV 노광기를 중심으로 한 양사의 장비 도입 경쟁이 뜨거워진 이유다.
13일 업계에 따르면 이재용 삼성전자 부회장은 최근 반도체 장비업체 ASML의 본사 소재지인 네덜란드 에인트호번으로 출국했다. 삼성전자는 지난 8일 3분기 영업이익 12조3,000억원을 기록했다고 발표했는데, 어닝 서프라이즈 발표 당일 이 부회장이 출국하면서 관심을 받았다.
이 부회장의 네덜란드 방문은 ASML의 ‘EUV 노광기’를 TSMC에 앞서 확보하기 위한 행보로 관측된다. EUV 노광기는 기존 불화아르곤(ArFㆍ193㎚) 대신 EUV를 광원으로 쓰는 차세대 노광기 제품이다. 5나노 이하 미세한 회로패턴을 그려 넣을 수 있는 유일한 장비다. 그렇다 보니 향후 10년 간 반도체 투자는 EUV 노광기 중심으로 돌아간다고 해도 과언이 아니라는 얘기가 업계에서 나올 정도다.
파운드리 분야에서 TSMC 추격에 나선 삼성전자 입장에선 이 장비의 안정적인 공급이 필수다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 3분기 시장점유율 전망치 기준으로 파운드리 세계 1위는 TSMC(53.9%), 2위는 삼성전자(17.4%), 3위는 미국 글로벌파운드리(7.0%)다. 양사의 점유율 격차는 36.5%포인트로, 전 분기(32.7%포인트)보다 벌어졌다.
ASML은 2019년 EUV 노광기를 26대 독점 출하했다. 올해는 최대 35대, 2021년에는 45~50대 출하가 목표다. ASML의 2019년 사업보고서에 따르면 TSMC 판매 비중은 39.7%로, 2018년(22.6%) 대비 크게 증가했다. EUV 장비 10대 중 4대가 TSMC로 공급됐다는 얘기다.
그럼에도 TSMC는 3분기 역대 최대 실적을 앞세워 투자를 더욱 늘릴 계획이다. 대만 디지타임스에 따르면 TSMC는 2021년까지 대당 2,000억원 안팎인 EUV 노광기 50대를 추가 구매에 나섰다. 이 규모는 ASML이 2021년 생산하는 전량에 해당한다.
삼성전자는 내년 ASML에서 EUV 노광기 10여대를 공급받을 예정인 것으로 알려졌다. 그러나 이 부회장의 네덜란드 방문 이후 ASML이 삼성전자에 대한 EUV 노광기 공급량을 늘릴 수 있을 것으로 보고 있다. 업계 관계자는 "삼성전자의 초고위층 경영진이 ASML 본사를 방문한 사례는 있지만 이 부회장이 직접 ASML을 찾아 관계자를 만나는 것은 무게감 자체가 다르다"며 "ASML이 향후 가격 협상 시 우위를 확보하기 위해선 TSMC 의존도를 낮춰야 하는 상황이어서 이 부회장의 제안을 반길 수도 있다"고 내다봤다.
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