반도체용 전극 배선재료
디엔에프(대표 김명운ㆍwww.dnfsolution.com)는 2001년 1월 대전에서 설립된 첨단소재 벤처기업이다. 이 업체는 반도체 제조 공정인 CVD 및 ALD 공정에 쓰이는 전구체 재료를 연구개발, 생산, 납품하고 있다.
특히 한국과학기술원내 신기술창업지원센터의 지원을 벗어나 대전 문평동 소재 3공단에 공장을 세워 다양한 제품 공급의 기틀을 마련했다.
3년여의 연구 끝에 2003년 '화합물 반도체용 MOCVD 소스 개발' 과제를 수행해 반도체 소재용의 고순도 전자재료 화학소재 전문기업으로 발돋움했다.
현재 반도체 칩메이커 및 장비업체와 공동개발을 지속적으로 추진중이다. 공동개발의 결과를 통해 2005년 4분기부터 D램, 플래시 메모리 양산 공정에 Al 전구체가 본격 납품되고 있다.
현재 주력제품인 Al 전구체는 플래시 메모리와 첨단 나노급 D램 양산 공정에 사용되는 핵심소재다. 기존 제품의 낮은 열안정성 개선, 공정중의 파티클 발생으로 인한 생산성 저하요인을 원천적으로 제거할 수 있는 안정화된 전구체다.
앞으로 하이닉스 및 중국기업 등으로 거래선을 다각화하고 기존 제품군 이외에 ACL용 전구체, 고유전율 전구체, P램용 GST 전구체, 갭필용 전구체 등으로 사업역량을 집중할 계획이다. (042)934-7939
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