세계에서 가장 작은 크기의 나노전자소자가 국내 연구진에 의해 개발됐다.
한국과학기술원(KAIST) 최양규(사진) 교수팀과 나노종합팹센터는 테라급 차세대 반도체소자에 적용이 가능한 새로운 구조의 3차원 3㎚(나노미터)급 나노전자소자(FinFET)를 개발하는 데 성공했다고 14일 밝혔다. 3㎚는 10억분의 3㎙로 성인 머리카락 굵기의 4만분의 1에 해당되는 크기다.
현재까지 발표된 세계에서 가장 작은 소자는 2003년 12월 일본 NEC가 국제전자소자회의(IEDM)에서 발표한 ‘4㎚ 소자’로 알려져 있다. 하지만 이 소자는 누설 전류가 크고 동작 시 충분한 전류를 얻지 못하는 등 만족스러운 소자특성을 갖추지 못했다는 게 연구팀의 설명이다.
이번에 공동 개발한 나노전자소자는 게이트가 채널의 전면을 감싸고 있는 3차원 구조로 설계됐다. 이 나노소자는 프로세서나 테라급 D-RAM, S-RAM, 플래시 메모리 소자로 응용이 가능하며 휴대인터넷, 동영상 회의, 입는 컴퓨터 등의 차세대 정보처리 기기의 필수부품으로 사용될 수 있을 것으로 연구팀은 전망했다. 최 교수는 “컴퓨터 마이크로프로세서에 이 나노소자를 적용할 경우 처리속도가 현재보다 25배 가량 빠른 100㎓를 넘을 수 있을 것”이라고 설명했다.
김희원기자 hee@hk.co.kr
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