포항공대, 0.1㎚급 분석기술 첫 개발/ 나노기술 또 한발 앞섰다

국내 연구진이 차세대 반도체 제작과 액정 디스플레이 등에 두루 쓰일 수 있는 초정밀 나노 분석 방법을 개발, 21세기 핵심 산업인 나노 기술 경쟁력을 한단계 끌어올렸다.

포항공대 화학과 이문호(50·사진) 교수 연구팀은 방사광 엑스선을 이용, 0.1㎚(나노미터·1㎚는 10억분의 1c)~1,000㎚ 크기의 구조와 특성을 분석할 수 있는 ‘스침각 산란법’을 개발하는데 성공했다고 21일 밝혔다.

연구 결과는 미국과 독일에서 각각 발행하는 과학저널 ‘마크로몰리큘스(3월15일자)’와 ‘어드밴스드 머티리얼스(3월22일자)’에 잇따라 게재됐다.

연구팀이 이번에 개발한 ‘스침각 산란법’은 포항 방사광가속기를 이용, 여기서 만들어 내는 방사광 엑스선을 재료 표면에 주입해 구조를 분석해 내는 방법이다. 재료를 손상하지 않는 ‘비파괴적 방식’일 뿐 아니라 해상도도 이전의 약 1㎚급과 비교해 크게 향상한 것이 특징이다.

지금까지 나노 분석에 쓰여온 전자 및 원자현미경 등은 재료를 쪼개야 하거나 표면 분석에만 그친다는 한계를 갖고 있었다.

이 교수는 "극미세 영역인 나노 수준의 구조와 특성을 활용하는 나노 기술은 정밀도에 따라 성패가 좌우된다"며 "가속기연구소에 분석 장치를 설치한 후 나노 관련 연구자들이 이를 손쉽게 활용할 수 있는 소프트웨어를 개발할 예정"이라고 설명했다.

김신영기자 ddalgi@hk.co.kr