무언가를 '씻는다'는 행위는 역설적으로 '자연을 오염시킨다'는 결과를 낳는다. 오염된 부분을 세척하는 과정에서 불가피하게 세제 등 또다른 오염원을 사용하는 경우가 대부분인데다 제거한 오염물질이 다시 배출되기 때문이다.그러나 미세한 오염물질 하나도 오류를 일으킬 수 있는 반도체나 액정표시장치(LCD) 등의 제조업에서는 수율을 높이기 위해 이러한 오염물질을 줄이는 세척 방법을 개발하는 것이 큰 관건으로 떠오르고 있다.
이번에 국무총리상을 수상한 케이씨텍의 '극저온 이산화탄소를 이용한 세정기'는 종전의 화학적 세정 기술과 달리 유해 폐기물의 배출이 전혀 없으며 세정 속도가 획기적으로 단축될 뿐 아니라 세정 표면에 손상을 주지 않는 획기적인 제품이다. 케이씨텍은 1998년 7월 개발에 착수하여 그 동안 이론적으로는 정립돼 있었으나 세계 어느 기업도 상용화에 성공하지 못했던 이 기술을 개발하는 데 성공했다. 또 이 기술은 반도체 및 LCD 산업뿐 아니라 표면 세정이 필요한 모든 산업에 응용될 수 있어 대형 부가가치 창출이 기대된다.
케이씨텍은 이 기술과 관련해 11건의 국내외 특허출원을 완료했고, 4건의 국내 특허 등록과 3건의 해외 특허를 출원 중이다. 이 기술을 응용해 카메라 렌즈 세정용, LCD 및 PDP용, 반도체 장비 세정용 극저온 이산화탄소 세정장비를 제작해 판매 중이며, 앞으로 일반 산업용 세정장비도 개발할 예정이다.
1987년 2월에 설립된 케이씨텍은 반도체 및 평면표시장치(FPD : Flat Panel Display) 세정장비 전문기업으로 그동안 세정장비인 '가 스테이션(Wet Station)', 반도체 공정에 초고순도 가스를 주입하는 가스 캐비닛 등을 개발해 이미 이 분야에서 국내를 대표하는 선두 업체로 부상했다. 1997년 11월에는 발행주식이 증권거래소에 상장됐고, 2001년에는 무역의 날 1,000만달러 수출탑을 수상했다.
관계사로는 반도체 세척기와 정화기를 생산하는 케이피씨, 고순도 카본 등 반도체 소재를 생산하는 티씨케이와 플랜트 설계 및 시공업체인 디오이, 정보통신부문의 디오텔이 있다.
서울대 화학공학과를 졸업하고 대성메탄올, LG실트론, 티씨케이 등 관련 업계에 오랫동안 몸담아 온 권봉수(61·사진) 대표이사는 이번 '100대 우수특허제품 본상'에서 대상인 국무총리상을 수상한 데 대해 "전 임직원과 기쁨을 나누겠다"고 소감을 밝혔다.
권 사장은 "제조업 경영여건이 계속 악화하는 가운데 이를 극복할 수 있는 방법은 오로지 뛰어난 기술 개발에 있다는 신념을 갖고 전 임직원이 노력해 왔다"면서 수상의 영광을 전 임직원에게 돌렸다. 또 "이번 수상에 만족하지 않고 더 많은 기술의 국산화 및 신기술 개발에 지속적인 노력을 기울임과 동시에 이번에 수상한 극저온 이산화탄소 세정기술이 여러 분야에서 활발하게 상용화되길 바란다"고 밝혔다.
/최진주기자 pariscom@hk.co.kr
● "극저온… 세정장비"란
케이씨텍(www.kctech.co.kr)이 개발한 '극저온 이산화탄소 세정장비'는 승화성 고체 미립자를 분사해 표면의 오염물을 제거하는 장비다.
극저온에서 고체화된 이산화탄소는 표면에 고속으로 충돌해 오염물을 제거하고 자신은 승화되기 때문에 재오염을 일으키지 않는다. 따라서 반도체 장비, 정밀 제품, 평면표시장치(FPD) 등의 표면 오염을 제거하는 데 널리 사용될 수 있다.
종전 습식 세정은 헹구고 건조하는 과정이 필요하기 때문에 오래 걸리지만 이 장비를 이용하면 추가 오염이 없는 세정을 할 뿐 아니라 세정 시간도 매우 크게 단축할 수 있다. 또 종전의 세정 방식이 값비싼 수입 약재를 필요로 하는 데 반해 이산화탄소 세정방식은 용매인 이산화탄소, 질소, 공기가 모두 매우 쉽게 구할 수 있는 것들이어서 재료비 절감 효과도 누릴 수 있다.
미국을 비롯한 선진국에서는 청정 세정기술의 중요성을 이미 깊이 인식해 이에 대한 장비 개발에 박차를 가해 왔으나, 이렇게 생산 공정에 적용할 수 있는 장비를 개발한 것은 케이씨텍이 최초다.
국내 반도체 및 액정표시장치(LCD) 제조 기술은 이미 세계적으로도 최고 수준이다. 극저온 이산화탄소 세정기술이 이러한 첨단산업에 응용되면 이러한 제조업의 경쟁력을 더욱 끌어올릴 수 있을 뿐 아니라, 최근 친환경·청정 기술이 각광 받고 있는 해외 시장 개척도 더욱 빨라질 것으로 예상된다.
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