광주과학기술원(원장 나정웅)은 30일 신소재공학과 전상훈(박사과정 4년차ㆍ28)씨의 연구논문 ‘게이트 절연막 응용을 위한 질화처리된 극박막 나노알루미네이트’(Ultrathin Nitrided-Nanolaminate for Gate Dielectric Application)가 세계 고체상태 장비 및 재료학회(SSDM)로부터 ‘최우수 신진연구자상’(Young Researcher Award) 수상작으로 선정됐다고 밝혔다. 전씨는 지난해 이 논문을 SSDM에 발표했다.전씨는 상보성 금속산화물 반도체(CMOS)를 고온공정에서 처리할 때 고온 절연막의 열적 불안정성 해결을 위한 나노알루미네이트 구조와 질화(窒化)처리를 연구하고 있다.
SSDM은 매년 전년도에 새로 발표된 전세계의 관련분야 논문 가운데 하나를 선정해 최우수 신진연구자상을 시상하고 있다. 시상식은 9월 17일 일본 나고야에서 열리는 2002년도 SSDM 학술회의에서 거행된다.
이민주기자 mjlee@hk.co.kr
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