한 벤처기업이 세계 반도체 제조업체들이 가장 골치거리로 여겨온 반도체 금형 오염을 획기적으로 감소시킨 코팅기술을 개발하는데 성공했다.특히 아남전자가 지난해말부터 이 기술을 적용해 시험한 결과 효과가 뛰어나 최근 국내·외 전공장에 적용키로 결정했으며 미국 인텔사도 금명간 도입키로 한 것으로 알려졌다.
이 기술을 개발한 ㈜코셉(COSEP)의 이병철(李秉哲·42)사장은 이미 국내·외에 특허출원해놓은 상태며 앞으로 연간 500억원 이상의 로열티를 받을 수 있을 것으로 기대하고 있다.
일반적으로 웨이퍼에서 조립된 반도체는 플라스틱 커버에 씌워진다. 이 플라스틱 커버를 만드는 금형은 하루에 2차례 가량 멜리민수지로 청소해주지 않을 경우 표면이 오염돼 불량반도체를 생산하게 된다.
94년 우연히 반도체공장을 방문했다가 이같은 얘기를 듣고 스스로『금형을 자주 청소해주지 않아도 될 수 있는 방법은 없을까』라는 질문을 스스로에게 던진 이사장은 94년부터 해결책 연구에 착수했다.
재산 10억여원은 물론 살던 집까지 담보로 잡혀가며 연구에 몰두한 지 4년만인 지난해초 반도체 금형의 표면을 코팅하는 방법을 창안하는데 성공했다. 실리콘화합물을 기체보다 입자가 더 미세한 「플라즈마」상태에서 금형에 코팅한 결과, 하루 2차례씩 치러야 했던 반도체금형 청소주기를 5일에 한번으로 10배나 늘릴 수 있었다.
일본의 반도체장비 가공회사인 프론텍사의 경우 연간 15%의 로열티를 내는 조건으로 이 회사의 기술을 수입키로 했다.
이사장은『전세계 반도체 생산업체들이 우리 제품을 사용할 경우 연간 5,000억원 이상의 생산비용을 절감하게 된다』며『이 코팅기술보다 더 뛰어난 새 기술을 개발할 계획』이라고 의욕을 보였다.
박정규기자
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