4기가D램 X선 노광기술 개발

◎LG반도체,포항공대와 공동 세계 최초LG반도체는 21일 세계 최초로 X선을 이용한 4기가D램급 초미세 노광기술을 개발했다고 발표했다.

올해초 포항공대와 공동으로 X선 노광기술 개발에 착수한 LG반도체는 4기가D램의 기억소자 공정을 가능하게 하는 0.13㎛(1㎛은 100만분의 1m)의 초미세 노광기술 개발에 성공했다. 노광기술은 반도체회로를 웨이퍼위에 형상화시키는 반도체공정의 핵심기술이며 X선은 파장이 짧고 투과도가 높아 자외선을 대체할 새로운 광원으로 사용될 전망이다.

LG반도체 관계자는 『이번 기술개발로 신문 약 3만2,000페이지를 1개 칩속에 기록·저장할 수 있는 4기가D램 개발에 한걸음 다가서게 됐다』고 말했다.