한국표준과학연구원 습도그룹 남현수 박사팀은 23일 반도체공정 등 청정환경이 필요한 분야에서 습도를 정밀하게 측정하는 초정밀 습도계의 오차를 보정하는 「습도발생장치」를 개발했다고 밝혔다.이 장치는 국내에 보급된 모든 습도계가 동일한 측정기준을 가질 수 있도록 표준을 제시해준다. 이제까지 국내에서는 습도계의 정확도를 평가할 수 있는 기기가 없어 외국에 보정을 의뢰해 왔다.
92년부터 4년간 1억3,000만원을 들여 개발한 이 장치는 습도계가 제대로 작동하는지를 판별하기 위해 인위적으로 극소량의 수분이 포함된 시험가스를 만들어낸다.
ℓ당 0.002㎎의 수분을 포함한 가스(노점 섭씨 영하 70도·노점은 미세습도의 측정단위)부터 ℓ당 3㎎의 수분을 포함한 가스(노점 영하 5도)까지의 다양한 시험가스를 발생시켜 습도계가 정확하게 반응하는가를 알아내는 것이다. 현재 이 정도의 정밀성을 갖춘 습도발생장치를 개발한 나라는 미국 등 5∼6개국에 불과하다.<홍덕기 기자>
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