◎자원연 장영남 박사팀 국내 특허한국자원연구소 광상연구부 장영남 박사팀은 12일 반도체소재인 단결정을 자동으로 성장하게 하는 장치를 개발했다고 밝혔다. 이 장치엔 성장하는 단결정의 무게변화를 초단위로 측정하는 적외선센서를 부착해 기존장치에 비해 안정성과 정밀도가 100배이상 높다. 이에 따라 반도체용 실리콘이나 갈륨아세나이트, TV의 필터 등 첨단소재의 고품질 단결정을 효율적으로 만들 수 있게 됐다.
이 장치는 또 무접촉방식이어서 오차율을 최소화하고 결정이 일정한 무게에 달하도록 정밀하게 제어·성장시킬 수 있다. 이와 함께 전문인력이 단결정을 성장시키는 과정을 수시로 감시할 필요가 없어 인건비 절감효과도 기대된다고 장박사는 설명했다.
기존 장치는 단결정에 흐르는 전류로 무게변화를 감지하는 접촉식으로, 불순물이 불규칙적으로 발생해 제작손실이 많았으며 전문가가 정기적으로 감시해야 하는 점등이 문제점으로 지적돼왔다.
단결정은 일본 독일 프랑스 등 선진국에서 개발하는 고부가가치의 장비 제작에 필수적으로 사용되는 물질로 세계 시장만도 연 5,000억원 규모에 달한다. 국내에서도 일부 업체에서 단결정을 제작하고 있으나 성장된 단결정의 회수율이 10∼50%정도에 지나지 않아 제조원가 상승의 원인으로 꼽혀왔다.
자원연구소는 이번장치 개발과 관련, 2개의 국내특허를 취득했으며 이번달 안으로 국제특허를 출원할 예정이다.<선년규 기자>
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