◎한양기공가스 공급기 삼성전자에 납품/한국 아토엔지니어링고밀도 플라즈마 화학증착 장비/신성 엔지니어링팬필터 유니트의 기류저항 줄여/미래 산업64개IC 동시 테스트장비 개발『차세대 반도체 장비를 개발하라』 우리나라 반도체산업의 경쟁력을 높이기 위해 가장 시급한 과제로 꼽히고 있는 반도체생산장비 국산화에 중소기업들이 속속 개가를 올리고 있어 반도체산업의 앞날을 밝게 해주고 있다. 한국아토엔지니어링은 최근 약 40억원을 투자, 1기가D램등 차세대 메모리제품 생산에 필요한 고밀도 플라즈마 화학증착장비(HDP) 개발에 나서 성공을 눈앞에 두고 있다. 내년 상반기에 개발완료 될 이 제품은 도전성이 탁월한 플라즈마를 이용, 회로선폭을 최대한 가늘게 해 집적도를 높이고 전류및 전압손실을 크게 줄이는 첨단 장비다.
이 회사 서진천수석연구원은 『D램분야에서 쌓은 「반도체 신화」를 계속 이어가려면 장비의 경쟁력이 뒷받침돼야 한다』며 『차세대 장비개발에 박차를 가해 2000년대 세계 10대 장비메이커로 성장할 계획』이라고 밝혔다. 한양기공은 반도체 확산공정에서 사용되는 첨단가스공급기(VMB)를 국내 최초로 개발, 삼성전자에 납품키로 했다. 한양기공은 이와 함께 5억원을 투자해 반도체 세정효과가 뛰어난 반도체순수세정장비를 연말까지 개발할 계획이다.
반도체 시험장비(테스트핸들러) 전문업체인 미래산업은 최근 64개 메모리 집적회로(IC)를 동시에 테스트할 수 있는 장비(MR 5300)를 개발한데 이어 메모리성능을 시간당 5,000개이상씩 시험할 수 있는 장비 개발에도 착수했다.
태석기계는 최근 리드프레임위에 반도체칩을 자동으로 부착(본딩)시키는 작업과 전극형성을 위해 와이어를 연결하는 작업을 동일한 기계에서 수행할 수 있는 일체형 「인 라인 본더」를 개발했다. 또 신성엔지니어링은 반도체 클린룸내의 먼지를 제거해주는 장치인 팬필터유니트의 기류저항을 줄여 원가및 소비전력을 획기적으로 개선한 신제품을 개발했다.
우리나라는 세계 최대의 메모리반도체 생산국이지만 생산장비는 80%이상 수입에 의존하고 있는 형편. 지난해의 경우 22억달러 규모의 반도체장비가 소요됐으나 국산장비는 3억9,100만달러에 불과, 나머지 82%를 해외에서 들여왔다.
이때문에 반도체수출을 많이 할수록 외산장비도입도 늘어나 우리나라 반도체수출에 따르는 재미는 외국 장비업체가 누리고 있는 실정이다.
이에 따라 국내 반도체장비업계는 가격이 싸고 생산성이 높은 장비개발이 곧바로 반도체산업의 경쟁력과 직결된다는 판단아래 생산장비의 국산화·첨단화에 진력해왔다. 업계는 지금처럼 개발이 추진될 경우 내년말까지 주요장비의 50%이상을 국산화할 수 있을 것으로 보고 있다.<남대희 기자>
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