◎서울대 반도체공동연/가로3㎜ 세로4㎜크기환자의 심장에 삽입해 혈압의 이상여부를 측정하거나 타이어의 공기압 변화를 감지해 펑크나 공기누출 때의 위험여부를 알 수 있는 초소형 압력센서가 국내 처음으로 개발됐다.
서울대 반도체공동연구소 전국진교수는 17일 압력상태를 측정하는 감지부와 감지신호를 전기신호로 바꿔주는 제어부를 하나의 칩에 통합한 가로 3㎜ 세로 4㎜ 정도의 초소형 압력센서를 개발했다고 밝혔다. 따라서 크기를 기존센서의 절반으로 줄일 수 있으며 설계및 제작공정도 단순화해 제조원가를 30∼50% 낮출 수 있게 됐다.
전교수는 『아직 임상실험을 거치지 않아 인체안에 삽입하는 것은 시기상조이지만 타이어나 산업용 로봇손, 미세로봇 등에 광범위하게 이용할 수 있을 것』이라고 말했다.
이 센서는 얇은 실리콘막과 전극이 설치된 감지부, 신호처리회로가 들어 있는 제어부로 구성돼 있다. 실리콘막이 외부의 압력을 받아 휘게 되면 감지부가 이 힘으로 전극에 전하를 발생시킨다. 제어부는 이 전하를 전기신호로 바꿔 컴퓨터나 계기판에 전송, 압력을 숫자등으로 나타낸다. 전교수는 이 센서로 대기압의 1만분의1 수준까지 정밀하게 측정할 수 있다고 밝혔다. 이 센서는 특히 감지및 제어부를 전선으로 연결해 간섭현상이 일어나는 기존센서의 부정확성을 해결했다.
전교수는 『통합센서는 제작기술이 까다로워 선진국에서도 미 아날로그디바이스사 등 4∼5개 업체만이 상용화에 성공한 정도』라며 『조기 상용화를 위해 초정밀가공기술과 회로집적기술의 개발이 필요하다』고 지적했다.<홍덕기기자>
기사 URL이 복사되었습니다.
댓글0