10억분의 1m측정 초정밀기기 국내 개발/표준과학연 엄천일박사팀

한국표준과학연구원 길이그룹 엄천일박사팀은 2일 길이를 10억분의 1까지 정확하게 잴 수 있는 초정밀측정기기 X선간섭계를 개발했다고 밝혔다.간섭계란 2개빛의 경로차이를 이용해 길이, 굴절률 등을 측정하는 광학기계로 나노미터(㎚·10억분의 1)측정용 X선간섭계가 국내서 개발되기는 이번이 처음이다.

엄박사팀이 93년 10월부터 연구에 착수해 이번에 개발한 X선간섭계는 X선이 실리콘 단결정을 통과하면서 나타나는 회절(빛의 경로가 휘는 현상)의 결과인 중첩현상을 이용한다.

엄박사팀은 이 간섭계의 개발로 나노미터이하의 분해능력을 갖춘 각종 센서감지기나 변환기들의 교정과 특성파악이 가능해 정밀측정의 정확도를 한층 높이고 반도체의 집적도를 한 단계 끌어올릴 수 있게 됐다고 밝혔다.