산업연구원은 4일 국내 반도체 생산장비의 국산화율은 최근까지 16%선에 머물고 있으며 특히 가장 중요한 비중을 차지하는 전공정장비의 국산화율은 6%에 지나지 않는것으로 조사됐다고 밝혔다. 반도체 장비는 용도에 따라 전공정장비 조립장비 검사 및 시험장비 기타 관련장비로 나뉘며 이중 반도체의 생산성 성능등을 결정하는 전공정장비는 전체 공정에서의 비중이 60%에 이르나 국산화율은 가장 낮아 이 부문의 개발이 가장 시급한것으로 분석됐다.
기타 관련장비의 국산화율은 43%로 전체 장비중 가장 높으며 조립용장비는 38%, 검사 및 시험장비는 22%가 국산화돼 전공정장비에 비해서는 국산화가 빨리 진척되고 있는것으로 조사됐다.
상공부의 한 관계자는 『외국기업들이 한국반도체산업에 대한 견제수단으로 관련장비의 판매를 기피할 경우 국내 반도체산업은 큰 타격을 입게 될것』이라고 지적했다.
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