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구미서 초순수 국산화 눈앞… 반도체특화단지 지정도 순항

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구미서 초순수 국산화 눈앞… 반도체특화단지 지정도 순항

입력
2023.04.25 15:58
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SK실트론, 공업용 초순수 본격생산
내달부터 하루 1,200톤 규모
연말까지 생산설비 설계·시공 100% 국산화

윤석열 대통령은 지난 2월 초 경북 구미 SK실트론을 방문해 초순수 생산과정에 관해 공장 관계자의 브리핑을 경청하고 있다. 구미시 제공

윤석열 대통령은 지난 2월 초 경북 구미 SK실트론을 방문해 초순수 생산과정에 관해 공장 관계자의 브리핑을 경청하고 있다. 구미시 제공

일반적인 물 속에는 육안은 물론 통상적인 장비로도 찾아낼 수 없는 물질이 상당수 포함돼 있다. 일반적인 제조공정에선 큰 상관이 없지만, 반도체 제조에선 얘기가 달라진다. 분자 단위의 불순물 몇개가 제품을 망칠 수 있기 때문이다. 그래서 반도체 웨이퍼 제조 및 가공에는 '초순수'라는 공업용수를 쓴다. 하지만 그동안 우리나라에선 기술 부족으로 초순수 제조장치 설계는 일본, 장비는 일본 및 미국산, 이렇게 생산한 초순수 분석은 또 일본에 의지했다. 앞으로는 더 이상 일본에 의지하지 않아도 될 일대 '사건'이 생겼다. 초순수 플랜트 설계 및 시공기술의 100% 국산화가 임박했기 때문이다.

구미시에 따르면 구미에 본사를 둔 SK실트론이 2021년 6월부터 환경부 한국수자원공사 등과 추진해 온 '초순수 실증플랜트'를 통해 하루 1,200톤의 초순수 생산에 성공했다. 이곳에서 생산한 초순수의 성능이 검증을 통과함에 따라 5월부터 반도체 생산공정에 본격 투입된다. 또 연말까지 초순수플랜트 설계에서 시공까지 전 과정에 대한 100% 기술자립이 가능할 전망이다. 구미반도체특화단지 지정에도 힘을 받게 됐다.

반도체산업에서 초순수는 주로 반도체 표면의 오염물이나 용제 등을 세척하는 데 사용한다. 그 동안 미국 일본 등 일부 선진국만 생산기술을 보유하고 있다. 2026년 초순수 시장 규뫃는 2026년 국내 1조5,000억 원, 세계적으로는 5조원에 이를 것으로 업계는 보고 있다.

실증플랜트가 성공함에 따라 구미를 중심으로 본격적인 초순수 양산플랜트도 건설될 것으로 보인다.

김장호 시장은 “초순수 국산화 성공으로 구미의 반도체 특화단지 지정에 유리한 고지를 점령하게 됐다”며 “앞으로 구미가 반도체 특화단지로 지정되면 반도체 세계시장을 단숨에 선점할 것이다”고 말했다.

추종호 기자

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