2005년 2월16일 발효된 교토의정서는 2008~2012년 지구온난화의 주범인 온실가스의 전세계 배출량을 1990년보다 5% 가량 줄이자는 것이 주내용이다. CO2와 PFCs, CF4, NF3, SF6, HFCs 등은 지구온난화를 유발하는 기체들이다.
특히 반도체 제조공정에 쓰이는 PFC(과불소화합물)는 지구온난화지수(GWP)가 CO2의 수천에서 수만 배로, 이의 사용량 및 방출량을 줄이는 게 반도체 업계의 주요 과제다.
㈜에프애치(대표 이용희ㆍwww.forhuman.co.kr)는 지난 5년간 상온 플라즈마 기술을 이용한 함불소화합물 분해 및 처리시스템을 국내 S전자와 공동 개발, 국ㆍ내외 특허등록을 마쳤다.
또 이를 기반으로 PFC 대용량 처리장치를 세계 최초로 상용화하는 데 성공했다. 이 장치는 종전의 촉매나 첨가물에 의한 처리방식에 비해 다양한 기체를 동시 처리할 수 있고 실내가 아닌 옥상에 설치해 공간 활용이 효율적이다.
저렴한 운전비용과 뛰어난 내구성도 장점이다. 특히 S전자에 설치돼 그 우수성이 입증됐으며, 세계반도체협회는 2010년까지 PFCs를 90% 이상 저감하겠다는 결의를 함에 따라 대량생산과 해외 수출시장 진입이 한결 수월해질 전망이다.
이용희 대표는 “교토의정서 발효로 전세계 온실가스 저감시장 수요가 급증하고 있다” 며 “일본 미국 유럽 진출을 위한 현지법인 및 독자영업망 설립을 추진 할 계획”이라고 밝혔다.
(031)433-4367
기사 URL이 복사되었습니다.
세상을 보는 균형, 한국일보Copyright ⓒ Hankookilbo
신문 구독신청
댓글0