제작기간 30%·원가20% 줄이는 반도체기술 세계 첫 개발

반도체 제작기간을 30% 단축시키고 원가도 20% 낮출 수 있는 차세대 반도체소자 공정기술이 국내 기술진에 의해 세계 최초로 개발돼 반도체 산업 전반에 큰 파급효과가 예상된다. 한국전자통신연구원(ETRI)의 나노전자소자팀(팀장 이성재 책임연구원)은 18일 종전의 반도체소자 제조 공정을 대폭 단순화해 제작 단가와 기간을 줄이고, 소자의 성능도 크게 향상시킬 수 있는 '쇼트키 트랜지스터' 기술을 2년여 동안의 연구 끝에 세계 최초로 개발했다고 밝혔다. ETRI는 또 반도체소자의 작동특성이나 성능을 예측하는 시뮬레이션 도구도 세계 최초로 개발했다.기존 반도체 제작은 섭씨 1,000도 이상의 고온 처리를 하는 등 성능 저하를 막기 위한 복잡한 공정이 필요할 뿐 아니라 지속적인 성능향상이 불가능하다는 한계가 있었다. 그러나 쇼트키 트랜지스터 방식은 '불순물 주입' 과정이 거의 불필요해 제작 공정을 획기적으로 줄일 수 있으며, 섭씨 500도 이하의 저온공정으로 고성능을 구현할 수 있는 것이 특징이다.

/최진주기자