좋은기술(대표 이영원·www.jtoi.com)은 13년 동안 반도체 제조장비를 개발해 왔다.이 업체는 1998년에 반도체 공정 가운데 핵심인 포토 공정에 필요한 8인치 쿨링&핫 플레이트 오븐 시스템을 개발했으며 99년에는 섭씨 23도에서 편차가 섭씨 0.2도 이내인 쿨링 플레이트 시스템을 개발했다. 2000년에는 섭씨 150도에서 섭씨 0.3도 이내의 편차를 보이는 핫플레이트 오븐 시스템 개발에 성공했으며 2001년에는 12인치용 반도체 제조장비 개발에 성공했다.
이 장비들의 핵심은 초정밀 열전달장치이다. 고집적 반도체를 만들기 위해서는 초정밀 온도컨트롤 및 전달 기능을 지닌 초미세 선이 필요하다. 이 업체에서 만든 초정밀 열전달장치는 냉각시 섭씨 45도에서 섭씨 0.2도, 가열 때 섭씨 0.3도 이내의 온도편차를 지닐 만큼 온도 변화가 적다.
이 같은 기술력을 바탕으로 기술 인증 등 특허 획득에 총력을 기울이고 있다. (031)233-4632∼3
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